序号 | 项目内容 | 数量 | 技术参数 | 交货期 | 质保期 |
01 | 聚焦离子束-电子束双束电镜 | 1套 |
1.二次电子分辨率≤0.6 nm @15kV;≤1 nm @1kV 2.STEM探测器的分辨率≤0.6 nm @30kV |
合同签订后6个月内 | 验收合格后5年 |
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