序号 | 项目内容 | 数量 | 技术参数 | 交货期 | 质保期 |
01 | 等离子清洗机 | 1套 |
射频电源:≤2到≥65瓦的射频电源,具有功率自动匹配功能 真空系统:≥80升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵 |
合同签订后6个月内 | 保修期为自用户签署最终验收报告之日起三年 |
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