序号 | 项目内容 | 数量 | 技术参数 | 交货期 | 质保期 |
01 | 氩离子抛光系统 | 1套 |
氩离子加速电压:≤2kV到≥8kV 抛光速度:≥300μm/h(8kV,以Si换算) 样品架冷却达到的温度:≤-120 ℃,温度连续可调 |
合同签订后6个月内 | 验收合格后3年 |
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